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一、簡(jiǎn)介：

CL-6激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可對(duì)米進(jìn)行定義，且溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今公認(rèn)的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在高速采集、高動(dòng)態(tài)同步觸發(fā)等應(yīng)用方面，優(yōu)于進(jìn)口設(shè)備。

激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)最高4m/s 的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辯力，采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文語(yǔ)言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。

二、主要功能

（1）結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸 等幾何參量的高精密測(cè)量；

（2）檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度 等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

（4）根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析 等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

三、主要技術(shù)指標(biāo)

1        測(cè)量方式                雙頻

2        穩(wěn)頻精度                0.02ppm

3        動(dòng)態(tài)采集頻率           50kHz

4        預(yù)熱時(shí)間                ≤6 分鐘

5        空氣溫度傳感器          ±0.1℃(0～40)℃ , 分辨力 0.01℃

6        材料溫度傳感器          ±0.1℃(0～55)℃ , 分辨力 0.01℃

7        空氣濕度傳感器          ±6%RH(0～95)%RH

8        大氣壓力傳感器          ±0.1kPa(65～115)kPa

9        測(cè)量距離                (0～80)m(無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)

10       測(cè)量精度                0.2ppm(0～40)℃

11       測(cè)量分辨力              1nm

12       測(cè)量最大速度           4m/s

13       便攜箱尺寸             613mm×460mm×230mm

14       標(biāo)準(zhǔn)配置重量            18kg

15       供電電源                （100～240）VAC

16       供電功率                60W

17       工作溫度范圍            (0～40)℃

18       存儲(chǔ)溫度范圍            (-20～70)℃

19       環(huán)境濕度                (0～95)%RH

20       激光安全等級(jí)           達(dá)到 Class Ⅰ要求

四、應(yīng)用場(chǎng)景

激光干涉儀是一種利用激光的干涉原理來(lái)測(cè)量物體尺寸和位置變化的高精度測(cè)量工 具。它在許多領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用，以下是一些典型的激光干涉儀使用場(chǎng)景：

在現(xiàn)代制造業(yè)的尖端領(lǐng)域，激光干涉儀發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。在工業(yè)制造中的精密 測(cè)量，激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞微米級(jí)甚至納米級(jí)的位移測(cè)量，是精密儀器研發(fā)和生產(chǎn)中不 可或缺的工具。

在機(jī)械加工和精密制造中，激光干涉儀用于校準(zhǔn)機(jī)床、測(cè)量工具和加工件的精度。例 如，在集成電路制造中，激光干涉儀是光刻機(jī)在線位移測(cè)量的核心部件，用于測(cè)量和校準(zhǔn) 晶圓的平整度和光刻設(shè)備的精度。

表面形貌測(cè)量：激光干涉儀可以測(cè)量微觀表面的凹凸及表面光滑度，廣泛應(yīng)用于材料 科學(xué)、納米科技等領(lǐng)域。質(zhì)量控制：通過(guò)激光干涉儀，可以檢測(cè)光學(xué)元件的表面形貌和光 學(xué)特性，從而有效控制產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，生物組織測(cè)量：激光干涉儀能夠測(cè)量生物組織的變形、變量等參 數(shù)，為醫(yī)學(xué)研究和醫(yī)療診斷提供重要數(shù)據(jù)。

振動(dòng)分析領(lǐng)域，機(jī)械部件檢測(cè)：激光干涉儀可以對(duì)機(jī)械部件或振動(dòng)體進(jìn)行振動(dòng)頻率、幅度 等參數(shù)的測(cè)量，幫助進(jìn)行機(jī)械工程的研究和調(diào)試。

在測(cè)量實(shí)驗(yàn)室作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)使用。

在航空航天工業(yè)，激光干涉儀用于測(cè)量和校準(zhǔn)飛機(jī)部件、衛(wèi)星組件和航天器的精密尺 寸。

在光學(xué)領(lǐng)域，激光干涉儀用于測(cè)試和校準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)的性能，如鏡頭、反射鏡和光學(xué)元 件。

汽車(chē)制造商使用激光干涉儀來(lái)確保汽車(chē)零部件的制造精度和裝配質(zhì)量。

激光干涉儀因其高精度和非接觸性的特點(diǎn)，在需要精確測(cè)量和校準(zhǔn)的場(chǎng)合中發(fā)揮著 不可替代的作用。